°øÁö/´º½º ( ¼öÁ¤Çϱâ )
À̸§
* ÆÄÀÏ÷ºÎ½Ã ÀÌÀü ÆÄÀÏÀº »èÁ¦µË´Ï´Ù.
ÀüÀÚ¿ìÆí
Á¦¸ñ
³»¿ë
fiogf49gjkf0d
3Â÷¿ø Æ®·£Áö½ºÅÍ(ÀÚ·á : ºñ»ó) ¹ÝµµÃ¼ °æ±â°¡ ¾ÇÈµÇ¸é¼ °ü·Ã ¾÷°è°¡ ¿ø°¡°æÀï·Â °È¸¦ À§ÇØ ¹Ì¼¼°øÁ¤ Àüȯ¿¡ ÃÑ·ÂÀ» ±â¿ïÀÌ°í ÀÖ´Ù. ¸Þ¸ð¸®³ª ¸¶ÀÌÅ©·ÎÇÁ·Î¼¼¼¿Í °°Àº ·ÎÁ÷ Á¦Ç°ÀÇ ¹Ì¼¼°øÁ¤ Àüȯ ¼öÁØÀº °æÀï·ÂÀ» ³ªÅ¸³»´Â ¹Ù·Î¹ÌÅÍ´Ù. ¸Þ¸ð¸® ¾÷°è ¼±µÎ±ÇÀ» À¯ÁöÇÑ ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷µéÀº ¹Ì¼¼°øÁ¤ Àüȯ ¼öÁØ¿¡¼ ¾Õ¼¿Ô´Ù. ±×·¯³ª 3, 4À§ ¾÷üÀÎ ¸¶ÀÌÅ©·Ð°ú ¿¤ÇÇ´Ùµµ ¹Ù¦ Ãß°ÝÇÏ°í ÀÖ´Ù. ¹Ý¸é¿¡ 2008³â ¹ÝµµÃ¼ ºÒ°æ±â ÀÌÈÄ ¹Ì¼¼°øÁ¤ Àüȯ¿¡ µÚóÁø ´ë¸¸ ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷µéÀº Áö³ÇØ ¸»ºÎÅÍ ´Ù½Ã ºÒ¾î¿Â ºÒȲ¿¡ ¸Æ¾øÀÌ ¹«³ÊÁö°í ÀÖ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ȸ·Î ¼±ÆøÀ» ´©°¡ ¾Õ¼ ÁÙÀÌ´À³Ä¿¡ µû¶ó »ýÁ¸ ¿©ºÎ°¡ »ç½Ç»ó °áÁ¤µÇ´Â ¼ÀÀÌ´Ù. °¡È÷ ÃѼº ¾ø´Â ÀüÀïÀÌ´Ù. ³»³â¿£ »ç¶÷ ¸Ó¸®Ä«¶ô ±½±â 5000ºÐÀÇ 1 µÎ²²ÀÎ 20³ª³ë±Þ °æÀïÀÌ º»°ÝÀûÀ¸·Î ½ÃÀ۵ȴÙ. ÀÌ °æÀï¿¡¼ »ì¾Æ³²±â À§ÇÑ ±â¾÷µéÀÇ Ä¡¿ÇÑ ±â¼ú°³¹ß »óȲÀ» ¾Ë¾Æº»´Ù. ¡ÞÃË¹ßµÈ ¹Ì¼¼°øÁ¤ ÀüÀï=¸Þ¸ð¸® ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷µéÀÌ È¸·Î ¼±ÆøÀ» ÁÙÀÌ´Â ½Å±â·Ï °æÀï¿¡ µ¹ÀÔÇß´Ù. Áö³ 9¿ù 22ÀÏ »ï¼ºÀüÀÚ°¡ ¼¼°è ÃÖÃÊ·Î 20³ª³ë±Þ D·¥ ¹ÝµµÃ¼ ¾ç»ê¿¡ µ¹ÀÔ, °æÀï ±â¾÷¿¡ ºñÇØ 6°³¿ù ÀÌ»ó ¾Õ¼´Â ±â¼ú·Â ¿ìÀ§¸¦ ³ªÅ¸³»¸é¼ ¸Ç ¾Õ¿¡ ³ª¼¹´Ù. ±âÁ¸ 30³ª³ë ºñÁßÀº ¿¬¸»±îÁö Àüü »ý»ê·® °¡¿îµ¥ Àý¹Ý ÀÌ»óÀ¸·Î ´Ã¸± ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. Áö³ÇØ 4¿ù 20³ª³ë±Þ ¾ç»ê¿¡ µé¾î°£ ³½µåÇ÷¡½Ãµµ ¿¬¸»±îÁö 30³ª³ë ÀÌÇÏ ºñÀ²À» 70%±îÁö È®´ëÇÒ °èȹÀÌ´Ù. ³»³â¿¡´Â 10³ª³ë±Þ ÁøÀÔÀ¸·Î ÀÚ½ÅÀÌ ¼¼¿î ½Å±â·ÏÀ» ´Ù½Ã °¥¾ÆÄ¡¿ï ¹æħÀÌ´Ù. °æÀï ±â¾÷µéµµ ¹Ì¼¼°øÁ¤ Àüȯ¿¡ ÃÑ·ÂÀ» ±â¿ïÀÌ°í ÀÖ´Ù. ÇÏÀ̴нº´Â ¿Ã 2ºÐ±â 30³ª³ë±Þ °³¹ß¿¡ ÈûÀ» ½ñÀº °á°ú 9¿ùºÎÅÍ ¾ÈÁ¤µÈ ÀüȯÀÌ ÀÌ·ïÁö°í ÀÖ´Ù. ¿¬¸»¿¡´Â 30³ª³ë±Þ ºñÁßÀ» 40%±îÁö ´Ã¸®°í 20³ª³ë±Þ ÁøÀÔµµ ÁغñÇÏ°í ÀÖ´Ù. 20³ª³ë±ÞÀÌ ÁÖ·ÂÀÎ ³½µå´Â ¿¬¸»²² 70%±îÁö ºñÁßÀ» ´Ã¸®°í ¿¬³» 20³ª³ë Á¦Ç° ¾ç»êÀÌ ¸ñÇ¥´Ù. ³»³â 10³ª³ë±Þ ¾ç»êÀ» ÃßÁøÇÏ°í ÀÖ´Ù. 3À§ ¾÷üÀÎ ¸¶ÀÌÅ©·Ðµµ D·¥ ºÐ¾ß¿¡¼ ¿Ã 1ºÐ±âºÎÅÍ 30³ª³ë±Þ ÀüȯÀ» ½ÃÀÛÇß´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ¿¡ ¾Õ¼ ÀϺ» ¿¤ÇÇ´Ù´Â Áö³ 5¿ù 20³ª³ë±Þ D·¥ °³¹ß¿¡ ¼º°øÇÏ°í ÃÖ±Ù¿¡´Â 20³ª³ë±Þ D·¥ 4Gb Á¦Ç°À» °³¹ßÇß´Ù°í ¹ßÇ¥ÇßÀ¸³ª ¾÷°è·ÎºÎÅÍ ½Å·Ú¸¦ ¹ÞÁö ¸øÇÏ°í ÀÖ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ¾÷üµéÀÌ ÀÌó·³ ¹Ì¼¼°øÁ¤ Àüȯ¿¡ ÈûÀ» ½ñ´Â °ÍÀº ´ÜÀ§¸éÀû´ç »ý»ê ¹°·®À» ´Ã¸± ¼ö Àִµ¥´Ù°¡ Àü·Â¼Òºñ °¨¼Ò, ÀÛµ¿¼Óµµ Çâ»ó µî ¿©·¯ ÀÌÁ¡ÀÌ Àֱ⠶§¹®ÀÌ´Ù. µ¿ÀÏÇÑ °øÁ¤¶óÀο¡¼ ȸ·Î¼±ÆøÀ» 10³ª³ë ÁÙÀÏ ¶§¸¶´Ù »ý»ê·®Àº 30~70%±îÁö ´Ã¾î³ª°Ô µÈ´Ù. ȸ·Î¼±ÆøÀ» ÁÙ¿© ÇÑ ¿þÀÌÆÛ¿¡¼ ´õ ¸¹Àº ¹ÝµµÃ¼Ä¨À» ¸¸µé¾î³»´Â °ÍÀÌ´Ù. ¹Ì¼¼°øÁ¤ Àüȯ ¾øÀÌ ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê·®À» ´Ã¸®·Á¸é °øÀå(ÆÕ)À» »õ·Î °Ç¼³ÇØ¾ß ÇÑ´Ù. ´Ü¼ø °è»êÀ¸·Î 10³ª³ë ¼±ÆøÀ» ÁÙÀÌ¸é ¹ÝµµÃ¼ °øÀå ¹Ý °³ Á¤µµ¸¦ ´õ ¼¼¿ì´Â ²ÃÀÌ´Ù. ºñ¿ë Ãø¸é¿¡¼´Â °øÀåÀ» »õ·Î Áþ´Â °Íº¸´Ù ¼±ÆøÀ» ÁÙÀÌ´Â °ÍÀÌ µÎ¼¼ ¹è Àý°¨ È¿°ú°¡ ÀÖ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀå¿¡¼ »ý»ê·® È®´ë´Â °¡°Ý °æÀï·Â °È¿Í µ¿ÀǾî´Ù. ¹Ì¼¼°øÁ¤¿¡ ¾Õ¼¸é »ý»ê ¿ø°¡°¡ ³·¾ÆÁ® °æÀï±â¾÷¿¡ ºñÇØ ¼öÀͼºÀÌ ´õ ³ô¾ÆÁø´Ù. µ¿ÀÏÇÑ ¼öÀÍÀ̶ó¸é ´õ Àú·ÅÇÏ°Ô ÆǸÅÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÈ´Ù. ¹Ì¼¼°øÁ¤¿¡ µÚÁø ´ë¸¸ ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷µéÀÌ ÃÖ±Ù °¨»ê¿¡ µ¹ÀÔÇÑ °Íµµ °¡°Ý °æÀï·ÂÀÌ µÚÁ³±â ¶§¹®ÀÌ´Ù. ¸Þ¸ð¸® °¡°ÝÀÌ Ç϶ôÇÏ¸é¼ »ý»ê¿ø°¡º¸´Ù ´õ ³·¾ÆÁ® ¸¸µé¾î³¾¼ö·Ï ¼ÕÇظ¦ º¸°Ô µÅ °á±¹ »ý»ê ÀÚü¸¦ ÁÙÀÌ´Â ±Ø¾à ó¹æ¿¡ ³ª¼± °ÍÀÌ´Ù. ¹Ý¸é¿¡ ¹Ì¼¼°øÁ¤¿¡ ¾Õ¼± »ï¼ºÀüÀÚ³ª ÇÏÀ̴нº µî ¼±µÎ±Ç ±â¾÷µéÀº ½ÃÀå °¡°ÝÀÌ Ç϶ôÇصµ »ó´ç±â°£Àº ÈæÀÚ¸¦ À¯ÁöÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÈ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ´Â 30³ª³ë¿¡¼ 20³ª³ë±ÞÀ¸·Î ÀüȯµÇ¸é¼ ¿ø°¡ °æÀï·ÂÀÌ 40% ÀÌ»ó ³ô¾ÆÁú °ÍÀ¸·Î º¸°í ÀÖ´Ù. °á±¹ ÀÌ·Î ÀÎÇØ ½ÃÀå Áö¹è·ÂÀº °è¼Ó °ÈµÈ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ¹Ì¼¼°øÁ¤Àº 'ºóÀͺó ºÎÀͺÎ' ¹ýÄ¢ÀÌ Àû¿ëµÇ´Â ¼ÀÀÌ´Ù. ¡Þ10³ª³ë±Þ¿¡ µµÀüÇÑ´Ù=¸Þ¸ð¸® ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷µé¿¡ ¹Ì¼¼°øÁ¤ ÀüȯÀº ÀýüÀý¸íÀÇ °úÁ¦´Ù. ÀÌÀü¿¡´Â 30³ª³ë±Þ ÀÌÇÏ´Â ¹°¸®Àû ÇÑ°è·Î ºÒ°¡´ÉÇÏ´Ù´Â Æò°¡¸¦ ¹Þ¾Ò´Ù. ±×·¯³ª ²÷ÀÓ¾ø´Â ±â¼ú°³¹ß·Î ³»³â¿¡´Â 20³ª³ë±Þ ½ÃÀå¿¡¼ º»°Ý °æÀïÀÌ ÀϾ°í 10³ª³ë±Þ±îÁö ÀüȯÀÌ ½ÃµµµÉ Àü¸ÁÀÌ´Ù. 10³ª³ë ÀÌÇϺÎÅÍ´Â ´Ù½Ã ¹°¸®Àû ÇÑ°è·ÐÀÌ µîÀåÇÏ°í ÀÖ´Ù. ½ÇÇö °¡´É¼º ¿©ºÎ´Â ¹ÌÁö¼öÁö¸¸ °è¼ÓµÈ ±â¼ú°³¹ß·Î ÀÎÇØ ¼º°ø °¡´É¼ºµµ ¹èÁ¦ÇÒ ¼ö´Â ¾ø´Ù. ¹Ì¼¼°øÁ¤ ±â¼úÀº Å©°Ô ¼¼ °¡Áö ±â¼úÀ» ÅëÇØ À庮À» Çã¹°°í ÀÖ´Ù. ¿ì¼± ³ë±¤ÀåºñÀÇ ¼º´É Çâ»óÀÌ´Ù. ¿þÀÌÆÛ¿¡ ¸Þ¸ð¸®Ä¨ ȸ·Î µðÀÚÀÎÀ» ¾ã°Ô ±×¸®±â À§ÇØ ÆÄÀåÀÌ ÂªÀº ±¤¿øÀ¸·Î °è¼Ó ÁøÈÇÏ°í ÀÖ´Ù. ÇöÀç 10³ª³ë±Þ D·¥ °øÁ¤ ÀüȯÀ» ¿°µÎ¿¡ µÎ°í ¿¬±¸°³¹ß ¸ñÀûÀ¸·Î ±ØÀڿܼ±(EUV) Àåºñ¸¦ µµÀÔÇØ °³¹ßÀÌ ÁøÇàµÇ°í ÀÖ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ´Â 2002³âºÎÅÍ EUV ¿¬±¸°³¹ß¿¡ µé¾î°¡ Áö³ÇØ ¼¼°è ÃÖÃÊ·Î EUV ³ë±¤Àåºñ¸¦ µµÀÔÇØ Â÷¼¼´ë D·¥ ¾ç»ê Àû¿ëÀ» ¸ñÇ¥·Î ¿¬±¸°³¹ß ÁßÀÌ´Ù. Áö³ 6¿ù¿¡´Â »ï¼ºÀüÀÚ, ÇÏÀ̴нº, ÀÎÅÚ, µµ½Ã¹Ù, TSMC µî ÁÖ¿ä ¹ÝµµÃ¼¾÷ü°¡ ÀϺ» µµ½Ã¹Ù, È£¾ß µî 11°³ ¾÷ü°¡ ÃâÀÚÇØ ¸¸µç Á¶ÀÎÆ®º¥Ã³ EIDEC(EULV Infrastructure Development Center:±ØÀڿܼ± ³ë±¤±â¼ú±â¹Ý °³¹ß¼¾ÅÍ)¿¡ Âü¿©, 10³ª³ë±Þ ¹ÝµµÃ¼ ±â¼úÀ» °øµ¿ °³¹ßÇϱâ·Î Çß´Ù. EUV´Â ÆÄÀåÀÌ 13.5§¬·Î ÇöÀç±îÁö »ç¿ëµÈ ±¤¿ø Áß¿¡¼ °¡Àå ÆÄÀåÀÌ Âª´Ù. 350³ª³ë ½ÃÀý¿¡´Â 365§¬ ÆÄÀåÀÎ 'i Line'ÀÌ Àû¿ëµÆ´Ù. ÀÌÈÄ KrF(ºÒÈÅ©¸³Å桤248§¬), ArF(ºÒȾƸ£°ï¡¤193§¬) µîÀ¸·Î ±¤¿øÀÌ °è¼Ó ¹Ù²î¾ú´Ù. ÀÌ´Â ¹ÝµµÃ¼ ¼³°è ȸ·Î°¡ ¹Ì¼¼ÇØÁö¸é¼ À̸¦ ¿þÀÌÆÛ¿¡ ±×¸®±â À§ÇØ ´õ¿í ¾ãÀº º×À» »ç¿ëÇÏ´Â °Í°ú °°Àº ¶æÀÌ´Ù. 10³ª³ë±ÞÀ̶ó¸é ¸Ó¸®Ä«¶ô µÎ²²º¸´Ù 5000ºÐÀÇ 1, ¸¹°Ô´Â 1¸¸ºÐÀÇ 1 µÎ²²·Î µðÀÚÀÎÀ» ±×¸± ¼ö ÀÖ´Â EUV ±¤¿øÀ» Àû¿ë, Àåºñ °³¹ß¿¡ »ç¿ëÇÏ°Ô µÈ´Ù. EUV Àåºñ´Â 2013³â ÀÌÈÄ¿¡ ¾ç»ê¿¡ Àû¿ëÀÌ °¡´ÉÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù. 40³ª³ë±Þ ÀÌÀü±îÁö´Â ArF ±¤¿øÀ» »ç¿ëÇÏ´Â ³ë±¤±â°¡ Àû¿ëµÆÀ¸³ª ÀÌÈÄ¿¡´Â ÇѰ踦 ³ªÅ¸³Â´Ù. À̸¦ º¸¿ÏÇϱâ À§ÇØ °³¹ßµÈ ±â¼úÀÌ 'À̸ÓÀü(Immersion) ¸®¼Ò±×¶óÇÇ'´Ù. ÇöÀç´Â À̸ÓÀü Àåºñ°¡ ÁÖ·Î »ç¿ëµÈ´Ù. ÀÌ ±â¼úÀº ¿þÀÌÆÛ¿Í ¸¶½ºÅ© »çÀÌ¿¡ ÀÖ´Â ·»Áî¿¡ ¹°À» ³Ö¾î ºû ±¼Àý·üÀ» ³ôÀÌ´Â ¹æ½ÄÀÌ´Ù. ±¼Àý·üÀÌ ³ô¾ÆÁö¸é ÃÊÁ¡ÀÇ ½Éµµ°¡ ³ô¾ÆÁ® ´õ ¹Ì¼¼ÇÑ µðÀÚÀÎ ÆÐÅÏÀ» ¼¼±æ ¼ö ÀÖ°Ô µÈ´Ù. ´õºí ÆÐÅÍ´×(Double Patterning)µµ ¹Ì¼¼°øÁ¤ ÇѰ踦 ±Øº¹ÇÏ´Â µ¥ ÅåÅåÇÑ ¿ªÇÒÀ» ÇØ¿Ô´Ù. ³ë±¤°øÁ¤À» µÎ Â÷·Ê ½ÃÇàÇØ ¹Ì¼¼È¸·Î¸¦ ±¸ÇöÇÏ´Â ±â¼ú·Î ´õ¿í ¹Ì¼¼ÇÑ °øÁ¤ÀÌ °¡´ÉÇØÁö°í ÁýÀûµµµµ ²ø¾î¿Ã¸°´Ù. 10³ª³ë±ÞÀ¸·Î ³ª¾Æ°¡¸é ´õºí ÆÐÅÍ´×À» ÇÑ ¹ø ´õ ½ÃÇàÇÏ´Â '´õºí ´õºí ÆÐÅÍ´×'ÀÌ Àû¿ëµÉ °ÍÀ̶ó´Â °Ô Àü¹®°¡µéÀÇ Àü¸ÁÀÌ´Ù. ¼¼ ¹ø° ±â¼úÀº ÁýÀûµµ¸¦ ³ôÀ̱â À§ÇØ ¼¿À» À§·Î ½×¾Æ ÀúÀå°ø°£À» È®º¸ÇÏ´Â 3Â÷¿ø(3D) ±â¼úµµ °³¹ßµÇ°í ÀÖ´Ù. 3D ±â¼úÀº ´Ù½Ã ¼¼ °¡Áö·Î ³ª´¶´Ù. 2Â÷¿ø ĨÀ» ÀÔüÀû ÇüÅ·Πº¯ÇüÇÏ´Â '3Â÷¿ø Æ®·£Áö½ºÅÍ'¿Í ¹ÝµµÃ¼ Ç¥¸é ¿Ü¿¡ ¾ãÀº ¹ÝµµÃ¼ ¹Ú¸·À» ¿¬¼ÓÀ¸·Î Çü¼ºÇØ Ä¨À» ¿©·¯ Ãþ Çü¼ºÇÏ´Â '3Â÷¿ø ÁýÀûȸ·Î', ¿Ï¼ºµÈ ĨÀ» ÀûÃþÇØ ´ÜÀÏ ÆÐÅ°Áö ¾È¿¡ ¿©·¯ °³ ĨÀ» ³ÖÀº '3Â÷¿ø ÆÐÅ°Áö' µîÀÌ´Ù. 3D ¹ÝµµÃ¼´Â ³ë±¤ °øÁ¤ Àåºñ °¡°ÝÀÌ »ó½ÂÇÏ¸é¼ °ü·Ã °øÁ¤ ºñ¿ëµµ Å©°Ô ¿Ã¶ó°¡´Â ¹®Á¦¸¦ ÇØ°áÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ´ë¾ÈÃ¥À¸·Î ¶°¿À¸£°í ÀÖ´Ù. ¡Þ450§® ¿þÀÌÆÛ '½Ã±â ¹ÌÁö¼ö'=ÇöÀç ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê¿¡ Àû¿ëµÇ´Â °¡Àå Å« ¿þÀÌÆÛ´Â 300§®´Ù. ¹Ì¼¼°øÁ¤ ÀüȯÀº µ¿ÀÏÇÑ ¿þÀÌÆÛ Å©±â¿¡¼ ¼±ÆøÀ» ÁÙ¿© »ý»ê·®À» ´Ã¸®´Â °ÍÀÌ´Ù. »ý»ê·®À» È®´ëÇÏ´Â ¶Ç ´Ù¸¥ ¹æ¹ýÀº ¿þÀÌÆÛ Å©±â ÀÚü¸¦ Å°¿ì´Â °ÍÀÌ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ¾÷°è´Â 6ÀÎÄ¡(150§®)¡æ8ÀÎÄ¡(200§®)¡æ12ÀÎÄ¡(300§®)·Î ¿þÀÌÆÛ Å©±â¸¦ Å°¿ö¿Ô´Ù. 300§®(12ÀÎÄ¡) ÀÌÈÄ ¿þÀÌÆÛ Å©±â´Â 450§®(18ÀÎÄ¡)´Ù. 450§® ¿þÀÌÆÛ·Î °øÁ¤À» ÀüȯÇÏ¸é ¿þÀÌÆÛ´ç »ý»ê¼ºÀº 2.25¹è ´Ã¾î³´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ¸¦ ºñ·ÔÇØ IBM, ÀÎÅÚ, TSMC, ±Û·Î¹úÆÄ¿îµå¸®½º µîÀÌ 450§® ¿þÀÌÆÛ Àüȯ ±â¼ú °³¹ß¿¡ µé¾î°¬´Ù. ³»³â ÆÄÀÏ·µ ¶óÀÎ µµÀÔÀ» ¸ñÇ¥·Î »ï°í ÀÖÀ¸³ª ¹ÝµµÃ¼ ½ÃȲÀÌ ¾ÇÈµÇ¸é¼ ¸·´ëÇÑ ÀÚ±Ý ÅõÀÚ°¡ ÇÊ¿äÇÑ ¿þÀÌÆÛ Àüȯ ½Ã±â´Â ¾ÆÁ÷±îÁö ºÒÅõ¸íÇÑ »óÅ´Ù. <¼Ò¹Ú½º> ´ë¾È ±â¼úµµ ´Ù¾çÈ¡¦TSV¡¤½Å¹°Áú µî ¸Þ¸ð¸® ÁýÀûÈ ±â¼ú ÇѰ踦 ±Øº¹Çϱâ À§Çؼ ¼±ÆøÀ» ÁÙÀÌ´Â ¹æ¹ý ¿Ü¿¡ ´Ù¾çÇÑ ´ë¾È ±â¼úµéµµ °è¼Ó µîÀåÇÏ°í ÀÖ´Ù. °¡Àå ´ëÇ¥ÀûÀÎ °ÍÀÌ ½Å¹°Áú °³¹ßÀÌ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡¼ ȸ·Î¿Í ¿ÜºÎ ±Ý¼Ó ¹è¼±À» ¿¬°áÇÏ´Â '¸ÞÅ» °øÁ¤'¿¡¼ ±âÁ¸¿¡ »ç¿ëÇÏ´ø ¾Ë·ç¹Ì´½À» Àüµµ¼ºÀÌ ³ôÀº ±¸¸®·Î ´ëüÇÏ´Â ¹æ¹ýÀÌ´Ù. ȸ·Î¼±ÆøÀÌ ÁÙ¾îµé¸é¼ ¹è¼±ÀÇ ÀúÇ׿¡µµ ¼º´ÉÀúÇÏ°¡ ¹ß»ýÇÒ ¼ö Àֱ⠶§¹®¿¡ ÀúÇ×ÀÌ ÀÛÀº ±Ý¼Ó ¹°Áú·Î ÀüȯÇÑ °ÍÀÌ´Ù. ¶Ç, À¯ÀüÀ²ÀÌ ³ôÀº High-k ¹°ÁúÀ» ¸ÞÅ»°ÔÀÌÆ®¿¡ »ç¿ë, ´©¼³Àü·ù¸¦ ÁÙÀÌ°í µ¥ÀÌÅÍ Ã³¸®¼Óµµµµ ³ôÀÌ°Ô µÈ´Ù. ¼³°è ±¸Á¶¸¦ ¹Ù²ã ÁýÀûµµ¸¦ ³ôÀÌ°í ¿ø°¡ °æÀï·Âµµ °ÈÇϱ⵵ ÇÑ´Ù. ³½µåÇ÷¡½Ã´Â Ãʱ⿡ ¼¿ÀÌ ÇÑ °³ÀÎ '½Ì±Û·¹º§¼¿(SLC)' ±¸Á¶¿´À¸³ª 1°³ ¼¿À» µÎ °³·Î ³ª´², ±âÁ¸º¸´Ù µ¥ÀÌÅÍ ÁýÀûµµ¸¦ µÎ ¹è ³ôÀÎ ¸ÖƼ ·¹º§ ¼¿(MLC) Á¦Ç°ÀÌ ÁÖ·ù¸¦ ÀÌ·ç°í ÀÖ´Ù. µ¿ÀÏÇÑ ¼¿ °³¼ö¿¡¼ ÁýÀûµµ¸¦ µÎ ¹è Çâ»ó½ÃŲ °ÍÀÌ´Ù. ÇöÀç´Â 1°³ ¼¿¿¡ 3°³ÀÇ µ¥ÀÌÅ͸¦ ÀúÀåÇÏ´Â Æ®¸®Çà ·¹º§ ¼¿(TLC) Á¦Ç°±îÁö ³ª¿À°í ÀÖ´Ù. ´Ù¸¸ ÀÌ °°Àº ±â¼úÀº µ¥ÀÌÅÍ ¿ë·®À» ³ôÀÌ´Â µ¥´Â È¿°ú°¡ ÀÖÁö¸¸ ¿¡·¯À²µµ µ¿½Ã¿¡ Áõ°¡ÇÑ´Ù´Â ´ÜÁ¡ÀÌ ÀÖ´Ù. »õ·Î¿î ÆÐÅ°Áö ±â¼úµµ ÁýÀûµµ Çâ»ó¿¡ ¿µÇâÀ» ÁØ´Ù. 3Â÷¿ø ÆÐÅ°Áö·Î ºÒ¸®´Â '3Â÷¿ø ½Ç¸®ÄÜ°üÅëÀü±Ø(TSV)' ±â¼úÀº 2°³ ÀÌ»ó ĨÀ» ¼öÁ÷ °üÅëÇÏ´Â Àü±ØÀ» ÅëÇØ Ä¨ °£ Àü±âÀû ½ÅÈ£¸¦ Àü´ÞÇÏ°Ô µÈ´Ù. ÀÌ ±â¼úÀº ¼º´ÉÀº ³ô¾ÆÁö°í Å©±â´Â ÁÙÀ̴ Ư¼ºÀÌ ÀÖ¾î Â÷¼¼´ë ´ë¿ë·® ¸Þ¸ð¸® ÆÐÅ°Áö ±â¼ú·Î ÁÖ¸ñ¹Þ°í ÀÖ´Ù. ¾÷°è Àü¹®°¡µéÀº TSV ±â¼úÀ» ÀÌ¿ëÇÑ ´ë¿ë·® ¸Þ¸ð¸® Á¦Á¶ ±â¼úÀÌ ¾ÕÀ¸·Î 2~3³â ³»¿¡ ÁÖ·Â ±â¼ú·Î ºÎ»óÇÒ °ÍÀ¸·Î ³»´ÙºÃ´Ù. ¸Þ¸ð¸®¹ÝµµÃ¼¡¤½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼¡¤À̹ÌÁö ¼¾¼ µîÀ» ÇϳªÀÇ ÆÐÅ°Áö¿¡ ÅëÇÕÇÏ´Â µ¥ Çٽɱâ¼úÀÌ µÉ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁÇß´Ù. ÇÏÀ̴нº´Â ¿ÃÇØ ÃÊ, 40³ª³ë±Þ 2±â°¡ºñÆ® DDR3 D·¥À» 8´Ü ÀûÃþÇÏ´Â µ¥ ¼º°øÇØ ´ÜÀÏ ÆÐÅ°Áö¿¡¼ ´ë¿ë·® 16±â°¡ºñÆ®¸¦ ¼¼°è ÃÖÃÊ·Î ±¸ÇöÇß´Ù. <Ưº°ÃëÀçÆÀ> ¼µ¿±ÔÂ÷Àå(ÆÀÀå) ¼ÇÑ¡¤¾çÁ¾¼®¡¤À±°ÇÀÏ¡¤¹®º¸°æ¡¤ÀÌÇü¼ö±âÀÚ
ºñ¹Ð¹øÈ£
(°ü¸®ÀÚ¾ÏÈ£)
HTML ű×È¿°ú »ç¿ë
±×¸²Ã·ºÎ
±×¸²Ã·ºÎ´Â ±×¸²ÆÄÀÏ(GIF,JPG,BMP)¸¸ °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù.